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爱发科低温泵株式会社，是由株式会社爱发科（当时名称日本真空技术株式会社）与美国BROOKS AUTOMATIONINC.（当时名称Helix Technology Corporation CTI事业部）共同出资、签订技术合作协议而成立的合资公司，诞生于1981年，并从茅崎市的爱发科总部租借场地之后开始正式经营。4年之后，即1985年终于在现在的茅崎市矢烟，总部工厂筹建成功，使规模得以进一步扩大

爱发科真空计（冷阴极电离） 传感器单元SC1-N SC1-N为冷阴极电离真空计。因为未使用灯丝，所以无需担心传感器的损耗。维修简单，成本低。另外，构造设计便于维修，运行成本较低。 特长： ? 不需要显示仪表，可接入PLC显示。 ? 使用电源DC24V。 ? 维修简单。 ? 能实现模拟信号输出和开关信号（2点）输出。

爱发科皮拉尼真空计用途： ? 可用于半导体、电子元件为首的各种制造装置的低真空领域的过程管理。 ? 可用于真空炉为首的各种产业机器的低真空领域的过程管理。 ? 可用于连续性、多样性工作室的各种制造设备的低真空领域的过程管理。 ? 可用于光伏、制冷、照明行业。

YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、消音器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气机组。YM-VD / VS系列罗茨泵机组是由油旋片真空泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、油雾过滤器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气。

NB系列罗茨真空泵特长：$n 洁净的真空$n 腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。$n 能在高吸入压强下运作$n 选用比标准电机容量大一级的电机，即可实现在高吸入压强下的运作。$n用途$n? 照明、电子、光学、半导体。$n? 镀膜、溅射、离子镀、液晶注入。$n? 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。$n? 真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉。$n? 分析仪器、检漏设备、CO2激光设备。